6英寸車規(guī)級碳化硅晶圓制造無塵車間內(nèi),設(shè)備上綠色、黃色燈光閃爍,工作人員看一眼就知道設(shè)備處于生產(chǎn)還是閑置狀態(tài);幾名設(shè)備工程師正在調(diào)試新裝設(shè)備,沖刺擴(kuò)產(chǎn);“天車”沿著無塵車間屋頂?shù)能壍缿掖褂诳罩型荡┧螅{(diào)試與機器人“搭檔”搬運芯片,將實現(xiàn)機臺到機臺的全自動無人化搬運;無塵車間外的辦公室內(nèi),工程師坐在電腦前通過設(shè)備共享屏幕遠(yuǎn)程監(jiān)控設(shè)備狀況,“千里眼”明察秋毫,指尖輕點鍵盤即可隨時遠(yuǎn)程處理各種狀況……新年伊始,位于廣州南沙的國內(nèi)最大專注于車規(guī)級碳化硅芯片制造企業(yè)芯粵能廠內(nèi)一派熱火朝天的生產(chǎn)景象。
作為廣東“強芯工程”重大項目,芯粵能今年正加速一期產(chǎn)能爬坡,年底實現(xiàn)年產(chǎn)24萬片6英寸車規(guī)級碳化硅芯片的規(guī)劃產(chǎn)能。芯粵能項目達(dá)產(chǎn)后將極大緩解當(dāng)前國產(chǎn)車規(guī)級碳化硅芯片緊缺的現(xiàn)狀,成為全球領(lǐng)先的車規(guī)級碳化硅功率半導(dǎo)體制造企業(yè)之一,解決碳化硅芯片“卡脖子”問題,奠定中國碳化硅功率器件領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。
來源:廣州日報 耿旭靜、董業(yè)衡
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